1.靈活的沉積能力

·基于硅的沉積工藝-氧化物、氮化物、氧氮化物、非晶硅（a-Si）、碳化硅（SiC）

·研究與開發(fā)

·原型制作

·小批量生產(chǎn)-光子學(xué)、固態(tài)照明、MEMS和納米技術(shù)

·應(yīng)用領(lǐng)域：層間絕緣層、鈍化層、封裝層、掩模層、抗反射層

2.性能價值

1.大尺寸手動裝載載物臺(406mm)

2.出色的潔凈度

3.高均勻性

4.高吞吐量

5.可靠的軟件

6.小巧的占地面積

7.具有成本效益

8.易于維護

9.采用行業(yè)頭部組件

3.經(jīng)過驗證的解決方案

·延續(xù)了PTI 790/790+的設(shè)計理念

        o手動裝載，無需負載鎖（可支持批次或單片晶圓）

   o已安裝超過400套系統(tǒng)

   o技術(shù)簡單，結(jié)構(gòu)堅固 價格具有競爭力，品質(zhì)可靠

小巧的占地面積，節(jié)省空間